µÚ193Õ 189£º1000ÒÚÑз¢·Ñ(2/2)
¡°ÎÒ¾õµÃºÜÓÐÕâ¸ö¿ÉÄÜÐÔ£¬Ö£×ܸú³Ìö©¾ýͦÃÜÇеģ¬Á½ÈË˵²»¶¨ÒѾÔÚÒ»ÆðÁË¡£¡±
<div class="contentadv"> ¾ÍÔÚÕâ¸öʱºòÖ£Îıò»Øµ½ÁËÉîÀ¶Ö§¸¶Ñз¢²¿¡£
ËäÈ»¹«Ë¾µÄͬÊÂÔÚÒéÂÛµÄʱºò¶¼ºÜСÉù£¬µ«ÊÇËûÒ²Ìýµ½ÁËͬÊÂÃǵÄÒéÂÛ¡£
¡°´ó¼Ò°ÑÊÖÉϵŤ×÷¶¼Í£ÏÂÀ´¡£¡±Ö£Îıò´óÉù˵µÀ¡£
ËûµÄÉùÒôï¬ïÏÓÐÁ¦´«±éÁËÕû¸öÉîÀ¶Ö§¸¶µÄÑз¢²¿ÃÅ£¬¼´Ê¹ÊÇÀëµÃºÜÔ¶µÄͬʶ¼Ìýµ½ÁËËûµÄÉùÒô¡£
¡°ÏàÐÅ´ó¼Ò¸Õ²ÅÒѾÊÕµ½º«×ܵÄÓʼþ£¬¹ØÓÚ³Ìö©¾ýÈÎÖ°µÄÊÂÇéÊǺ«×ÜÇ××ÔÇö¨µÄ£¬ÖÁÓÚº«×ÜΪʲô»áÑ¡Ôñ³Ìö©¾ýÎÒÒ²²»ÖªµÀ£¬Ó¦¸ÃÊÇͨ¹ýÈËʲ¿ÃŵįÀ¹À±¨¸æ×÷³ö¾ö¶¨µÄ¡£
ËùÒÔ´ó¼Ò²»ÒªÔÚÕâÀïºúÂҲ²âºú˵°ËµÀ£¬³ý·ÇÄãÃDz»ÏëÔÚ¹«Ë¾¼ÌÐø´ýÏÂÈ¥ÁË£¬ÄãÃÇÒÔºóÒªºÃºÃÅäºÏ³Ìö©¾ýµÄ¹¤×÷¡£
³Ìö©¾ýºÍ½Õý·áµ½ÎҰ칫ÊÒÀ´Ò»ÌË¡£¡±Ö£Îıò˵Íê±ãÍù°ì¹«ÊÒ×ßÈ¥¡£
±ð¿´Ö£Îıò²»¹ý¶þÊ®Ëê¶øÒÑ£¬Êµ¼ÊÉÏËûÒѾÊÇÖ°³¡ÀÏÓÍÌõ£¬ËûµÄÇéÉÌÒ²±ÈͬÁäÈ˸ߺܶࡣ
Á½ÈËÔÚÌýµ½Ö£ÎıòµÄÉùÒôºó¸ú×ÅËûǰÍù°ì¹«ÊÒ¡£
Á½ÈËһǰһºó½øÈë°ì¹«ÊÒÏòÖ£Îıò´òÁ˸öÕкôºó£¬ËæºóÁ½È˱ãÔÚÖ£Îıò¶ÔÃæ×øÁËÏÂÀ´¡£
¡°ÉîÀ¶Ö§¸¶Æ½Ì¨Àúʱ°ëÄê¶àÒ²Ñз¢Íê³ÉÁË£¬Ö§¸¶Æ½Ì¨µÄÑз¢¶ÔÎÒÀ´ËµÃ»É¶ÌôÕ½ÐÔ£¬ËùÒÔÎÒ¾ÍÏòº«×ÜÉêÇë¸Úλµ÷¶¯£¬º«×ÜͬÒâºóÎÒÏòº«×ÜÍÆ¼öÀϽÄ㣬²»¹ýº«×Ü×îÖÕ»¹ÊÇÑ¡ÔñÁ˳Ìö©¾ý¡£
²»ÒªÎʺ«×ÜΪʲô»áÕâôѡÔñ£¬ÒòΪÎÒÒ²²»ÖªµÀÕâÆäÖÐÔÒò£¬ÒªËµÔÒòÓ¦¸ÃÊÇÈËÁ¦¹«Ë¾µÄÆÀ¹À¡£
´ó¼Ò¶¼ÖªµÀº«×ܺÜÉÙ¹ýÀ´ÎÒÃÇÕâ±ßµÄ£¬º«×ÜÖ®ËùÒÔÑ¡Ôñ³Ìö©¾ýµ£ÈÎ×ܼ࣬Ӧ¸ÃÊÇÈËÁ¦¹«Ë¾¶ÔËýµÄÆÀ¹ÀºÜ¸ß¡£
ÎÒÏ£ÍûÀϽÄã±ðÒòΪÕâ¼þÊÂÐÄÉú½æµÙ£¬ÄãÒÔºóÄܺúÃÅäºÏ³Ìö©¾ýµÄ¹¤×÷¡£¡±Ö£Îıò¿´Ïò×øÔÚ×ó±ßµÄ½Õý·á˵µÀ¡£
¡°Îıò£¬¼ÈÈ»ÕâÊǺ«×ܵľö¶¨£¬ÎÒ×ðÖØº«×ܵľö¶¨£¬ÆäÊµ×ø²»×øÕâ¸öλÖÃÒ»Ñù£¬´ó¼ÒÔÚ¹¤×ÊÉÏÓֲÁ˶àÉÙ£¬×øÉÏÕâ¸öλÖÃÒªÕûÌìæ¸ö²»Í££¬ÎÒ¾õµÃÕâ¸ö°²Åŵ¹ÊÇͦ²»´íµÄ£¬ÕâÑùÎÒÒ²Äܶà³é³öʱ¼äÀ´Å㺢×Ó¡£¡±½Õý·á΢ЦµÀ¡£
ËäÈ»½Õý·áÊÇЦׯشðÕâ¸öÎÊÌâµÄ£¬µ«ÊÇÊDz»ÊÇÕâÑùÖ»ÓÐËûÖªµÀ£¬ÖÁÓÚËûÐÄÀï½é²»½éÒâÕâ¸öÊÂÇ飬¹À¼ÆÒ²Ö»ÓÐËû±¾È˲ÅÖªµÀÁË¡£
¡°ÀϽÕâ¼þÊÂÄãÄÜ¿´¿ª¾ÍºÃ¡£¡±Ö£Îıò΢ЦµÀ¡£
ËæºóÖ£Îıò¿´Ïò×øÔÚÓұߵijÌö©¾ý˵µÀ£º¡°³Ìö©¾ý£¬ÄãΩһÄÜ×ö¾ÍÊÇ×öºÃÕâ·Ý¹¤×÷£¬ÒªÊÇ×ö²»ºÃÖ»ÄÜÈÃÄãÀ뿪¹«Ë¾ÁË£¬Õâ¸öÎÒÀ뿪ǰº«×ÜÇ××Ô˵µÄ£¬¹À¼ÆËûÊÇÏ£Íûͨ¹ý¸øÄãѹÁ¦×öºÃ¹¤×÷¡£
²»¹ýº«×Ü˵Õâ¾ä»°µÄʱºòÒ²ÊÇÊ®·ÖµÄÈÏÕæ£¬ÒªÊÇÄãûÓÐ×öºÃ¹À¼ÆÕæµÄ»á±»³´öÏÓã¡£
Ï£ÍûÄã±ð¹¼¸ºº«×ܶÔÄãµÄÆÚÍû¡£¡±
¡°ÎÒ¾¡Á¦°É¡£¡±³Ìö©¾ýÊ®·ÖÎÞÄεÄ˵µÀ¡£
Äܲ»ÄÜ×öºÃÕâ·Ý¹¤×÷ÆäʵËýÐÄÀïҲûµ×£¬Ä¿Ç°Çé¿öËýÖ»ÄÜ×ßÒ»²½¿´Ò»²½ÁË¡£
2010Äê1ÔÂ22ÈÕ¡£
һתÑÛÓÖ¹ýÈ¥Ò»ÖܵÄʱ¼ä¡£
¡°µÎ~µÎ~µÎ~¡±
»¹ÔÚÊì˯µÄº«è¡±»ÄÖÁ司³³ÐÑÁË¡£
ÐÑÀ´ºóº«è¡·¢ÏÖ×Ô¼ºÒ»ÖùÇæÌì¸Ð¾õ×Ô¼ºÓÐЩÑôÆø¹ýÊ£ÁË¡£
º«è¡¿´×ÅÄÇ׳˶µÄ²»ÖÜɽÎÞÄεÄÒ¡Ò¡Í·¡£
È»¶ø¾ÍÔÚÕâ¸öʱºòÄÔº£Àï´«À´ÏµÍ³Ë¢ÐµÄÉùÒô¡£
¡¾±¾ÖܲúÆ·£ºXÉäÏß¹â¿Ì»ú£¬ÊÛ¼Û1¸öÒÚ¡£¡¿
¡¾¼ò½é£º±ÈEVU¹â¿Ì»ú¸üÏȽøµÄ¹â¿Ì»ú£¬XÉäÏß¹â¿Ì»ú²»µ«ÖÆÔì³É±¾µÍ¡¢²¨³¤±ÈEVU¸üС£¬XÉäÏß¹â¿ÌµÄ²¨³¤½éÓÚ0.01nmµ½10nmÖ®¼ä£¬¶øÇÒXÉäÏß¹â¿Ì»ú²»ÐèÒªÑÚĤ£¬É豸³É±¾²»µ½EVU¹â¿Ì»úÍò·ÖÖ®Ò»¡£
µ¥¿ÅоƬÉú²ú³É±¾Ò²Ö»ÓÐEVU¹â¿Ì»úµÄ58%¡£Î¨Ò»È±µãÉú²úЧÂÊÂýµ½Ã»ÓÐÅóÓѵÄÄÇÖÖ¡£
²»¹ýЧÂʲ»×ã¿ÉÒÔÓÃÊýÁ¿À´´Õ£¬Ö»ÒªÎÒÃÇÓÐ×ã¹»¶àµÄÉ豸£¬¾ÍÊÇÉú²úЧÂÊÔÙÂýÒ²²»Å¡£¡¿
¼ÈÈ»Êǹâ¿Ì»ú¼¼Êõº«è¡Ï붼ûÏë¾Í°ÑËü¸øÂòÏÂÀ´ÁË£¬ÂòÏÂÀ´ºóº«è¡Ò²ÊǵÚһʱ¼ä´ò¿ªµçÄԲ鿴ÕâÏî¼¼ÊõµÄ×ÊÁÏ¡£
¸ù¾Ý½éÉÜһ̨XÉäÏß¹â¿Ì»úµÄÖÆÔì³É±¾´ó¸ÅÔÚ60ÍòÈíÃñÒ×óÓÒ£¬»ù´¡°æµÄXÉäÏß¹â¿Ì»ú¿ÉÒÔÖÆÔì28ÄÉÃ×µÄоƬ£¬¹¤ÒÕ¿ÉÒÔËæ×ż¼ÊõµÄµü´ú½øÐÐÉý¼¶¡£
XÉäÏß¹â¿Ì»úµÄ¼«ÏÞÊÇ1ÄÉÃ×µÄоƬ¡£
²»¹ýÏëÒª°ÑËü×ö³öÀ´±ØÐëÒª½«Ïà¹ØÅäÌ×É豸×ö³öÀ´²ÅÐС£
ϵͳºÜÌùÐĵÄΪº«è¡×ö³ö¹â¿Ì»ú¿ÉÐÐÐÔ±¨¸æ¡£
´Ó±¨¸æÉÏÀ´¿´ÏëÒª×ö³öXÉäÏß¹â¿Ì»ú×îÉÙҪͶÈë1000ÒÚÈíÃñҵÄÑз¢·ÑÓ㬳ýÁË1000ÒÚÈíÃñҵÄÑз¢·ÑÓÃÒÔÍ⻹ÐèÒªÎåµ½ÁùÄêµÄʱ¼äÀ´Ñз¢¡£
Ò²¾ÍÊÇ˵º«è¡Í¶Èë1000ÒÚÈíÃñҾÍÄܹ»Ñз¢³öһ̨28ÄÉÃ×µÄX¹â¿Ì»ú¡£
ÏëÒª¸ü¸ß¼¶µÄ¹¤ÒÕÄǾ͵üÌÐøÍ¶Ç®½øÐÐÑз¢¡£
¡°ÒªÊÇû¼Ç´í15ÄêÓ¢ÌØ¶û¾ÍÍÆ³ö14ÄÉÃ׵ŤÒÕ£¬°´ÕÕϵͳ½éÉÜ15Äê²ÅÄܹ»Éú²ú28ÄÉÃ׵Ĺâ¿Ì»ú£¬28ÄÉÃ׿ÉÊDZÈ14ÄÉÃ×ÂäºóÁË3´úÒÔÉÏ¡£¡±º«è¡ÄØà«µÀ¡£
28ÄÉÃ׵ĺóÃæÊÇ20ÄÉÃ׺Í16ÄÉÃ×£¬×îºó²Åµ½14ÄÉÃס£
׼ȷµÄÓ¦¸Ã˵ÊÇ2´ú²Å¶Ô£¬ÒòΪ16ÄÉÃ×ÊÇ14ÄÉÃ×ʧ°ÜÆ·£¬Ì¨»ýµçºÍɽÐÇÑз¢14ÄÉÃ×ʱʧ°ÜÁË£¬ÔÚÒõ²îÑô´íÇé¿öÏ»¹ÄÜÉú²ú³ö16ÄÉÃ×µÄоƬ£¬ËùÒÔ²Å˵16ÄÉÃ×ÊÇ14ÄÉÃ×µÄʧ°ÜÆ·¡£
ÖÁÓÚϵͳΪʲô»á˵XÉäÏß¹â¿Ì»ú¹â¿Ì»úÉú²úЧÂÊÂýµ½Ã»ÓÐÅóÓÑ¡£
һ̨DUVÿÌìÄÜ´¦Àí94Ƭ12´ç¾§Ô²£¬EUV¹â¿Ì»ú×î¸ßÿÌìÄÜ´¦Àí3600Ƭ£¬XÉäÏß¹â¿Ì»úÿÌì×î¶àÖ»ÄÜ´¦Àí33Ƭ12Ó¢´çµÄ¾§Ô²¡£
ÄÃEVU¹â¿Ì»úÀ´¸úXÉäÏß¹â¿Ì»úÀ´×ö¶Ô±È£¬EUV¹â¿Ì»úµÄ²úÄÜÊÇXÉãÏñ¹â¿Ì»úµÄ109±¶¡£
Ò²¾ÍÊÇ˵ÐèÒª109̨XÉäÏß¹â¿Ì»ú²ÅÄܸúһ̨EUV¹â¿Ì»úÏà±È¡£
²»¹ýһ̨XÉäÏß¹â¿Ì»ú³É±¾Ö»ÐèÒª60ÍòÈíÃñң¬Ò»Ì¨EUV¹â¿Ì»úÈ´ÐèÒª10ÒÚÈíÃñң¬Èç¹ûÊÇÉ豸³É±¾µÄ»°Ò»Ì¨EUV¹â¿Ì»úÊÇXÉäÏß¹â¿Ì»úµÄ1700±¶¡£
»»ËãÏÂÀ´XÉäÏß¹â¿Ì»ú»¹ÊDZÈEUV¹â¿Ì»ú¹â¿Ì»ú±ãÒ˵ġ£
ÓÌÔ¥¹ýºóº«è¡»¹ÊǾö¶¨Ñз¢XÉäÏß¹â¿Ì»ú£¬¶¼»¨ÁËÒ»¸öÒÚ¹ºÂòXÉäÏß¹â¿Ì»úµÄ¼¼ÊõÁË£¬»¹²îÕâ1000ÒÚµÄÑз¢·ÑÂð£¿