µÚÒ»°ÙһʮÎåÕÂÀë×Ó¹â¿Ì»úÑéÖ¤»ú(1/2)
¡°Õâ´ÎÎÒÃÇÒ»¹²³ÉÁ¢Á˱£»¤É¡¹âѧ¹«Ë¾¡¢±£»¤É¡¼¯³Éµç·°ëµ¼ÌåÖÆÔ칫˾¡¢±£»¤É¡²ÄÁÏÉú²ú¹«Ë¾¡£
ÆäÖб£»¤É¡¹âѧ¹«Ë¾ÒÔ¼°¼¯³Éµç·°ëµ¼ÌåÖÆÔ칫˾¶¼×¢²áÔÚħ¶¼£¬±£»¤É¡²ÄÁÏÉú²ú¹«Ë¾×¢²áÔÚµÛ¶¼£¬Ïà¹Ø¹ÜÀí²ã¶¼ÒѾ°²ÅÅÍ×µ±£¬½ÓÏÂÀ´ËûÃǽ«ÍêÉÆ¸÷×Ó¹«Ë¾µÄ»ù´¡ÉèÊ©¹¤×÷¡£¡±
¡°ÄǾͺ㬽ÓÏÂÀ´ÎÒÃǽ«°Ñ¹¤×÷ÖØÐÄ·ÅÔÚ²úÆ·Éú²úÉÏ£¬Ï¸öÔ¿ªÊ¼¾Í¿ÉÒÔ´ó¹æÄ£½»»õÁË£¬ÎÒÃǹ«Ë¾µÄÏúÊÛÇé¿öÒ²Äܵõ½ºÃת¡£
¶ÔÁ˰´ÕÕÕÔ×ܵÄָʾ£¬Ö®Ç°Âô³öÈ¥µÄÎÞÔ´»úеÍâ¹Ç÷À¶¼»ØÊÕÁËûÓС£¡±
´´°ìÕ⼸¼Ò×Ó¹«Ë¾µÄÒªÇóÊÇÕÔÐþµÄ¾ö¶¨£¬Ò»¿ªÊ¼ÍõÎÄÁâÒ²²»ÖªµÀËûµÄÄ¿µÄ£¬ÖªµÀÁ˽⵽ÕÔÐþÏë²ø×Ô¼ºµÄоƬ²úÒµÖ®ºó£¬²ÅÃ÷°×¡£
ËäÈ»²»Àí½âÕÔÐþ¼á³Ö´´°ìоƬ²úÒµµÄÄ¿µÄ£¬µ«ÍõÎÄÁ⻹ÊÇÑ¡ÔñÁËÖ§³Ö£¬ÕÔÐþ´Ó¹«Ë¾³ÉÁ¢µ½ÏÖÔÚûÓÐÒ»¼þ˵³öÀ´Ã»×öµ½µÄÊÂÇ飬´Ó»ú´²¾Í¿ÉÒÔ¿´µÄ³öÀ´¡£
ÖÁÓÚÎÞÔ´»úеÍâ¹Ç÷ÀÉ豸»ØÊÕµÄÎÊÌ⣬»¹ÊÇÒòΪ×Ô´ÓÓÐÁË×Ô¼ÒµÄÊý¿Ø»ú´²Ö®ºó£¬»úеÍâ¹Ç÷ÀÉ豸µÄÉú²ú¹¤ÒÕÌáÉýÁ˺ü¸¸öÆ·ÖÊ¡£
Ïà±ÈÆðÀ´Ö®Ç°ÕÒ¹¤³§´ú¹¤µÄ²úÆ·¾Í¸ü¼Ù»õÒ»Ñù£¬ÍõÎÄÁâµ¹¾õµÃûʲô£¬µ«ÕÔÐþ¼á³Ö»ØÊÕ£¬Áí»»Ò»Ì×ÐÂÉú²úµÄÎÞÔ´»úеÍâ¹Ç÷À¡£
ºÃÔÚÕ⼸¸öÔÂÏúÊÛµÄÁ¿²¢²»Ëã¶à£¬ÎªÁËÆ·ÅÆÐ§¹û£¬»ØÊÕÒ²ÊÇÖµµÃµÄ¡£
¼ÓÉÏÊг¡ÉÏÏúÊÛµÄÎÞÔ´»úеÍâ¹Ç÷À¶¼Í¨¹ý±£»¤É¡¿Æ¼¼¹«Ë¾µÄ¹ÙÍø£¬Ã¿Î»Óû§µÄÐÅÏ¢ËûÃǶ¼ÓÐÁ˽⣬»»ÆðÀ´ÄѶȵÍÁ˺ܶࡣ
¡°Ã»ÓУ¬ÏúÊÛ²¿µÄ±¨¸æËµÖ»ÓÐÎå·ÖÖ®ËĵÄÓû§Ô¸ÒâÍË»õ£¬ÆäËûµÄÓû§¶¼Ã»ÓÐÍË»õµÄ´òËã¡£¡±
¼û×Ô¼ºÖúÀíÕâô˵£¬ÍõÎÄÁâÒ²Ã÷°×ÕâЩÓû§Ê²Ã´Òâ˼¡£
¾ÍÏñ´í°æÖ½±Ò»òÕßÓÊÆ±Ò»Ñù£¬Ïà±ÈÆðÀ´ÕâЩÓÐ覴õIJúÆ··Ç³£¾ßÓÐÊղؼÛÖµ£¬µÈ¹ý¼¸Äê±£»¤É¡¹«Ë¾µÄÆ·ÅÆÊ÷Á¢ÆðÀ´Ö®ºó£¬ËüÃǵļÛÖµÒ²»áË®ÕÇ´¬¸ß¡£
¡ª¡ª¡ª¡ª
¡ª¡ª¡ª¡ª
ÖÁÓÚ´ôÔÚʵÑéÊÒÄÚµÄÕÔÐþȴûÓйý¶àÁôÒâÍâ½çµÄÏûÏ¢£¬¸üûÓÐÐÄ˼ȥ¿´ÊÀ½ç±ÒѾÂíÉÏ¿ªÄ»µÄ°ÂÔ˻ᡣ
Õâô³¤Ê±¼ä£¬ÕÔÐþµÄ¹¤×÷¾ÍÊǽ«³õ¼¶ÖÆÔį̀ËùÉæ¼°µÄ¹â¿Ì»úÉú²ú³öÀ´£¬Æäʵ¸üÓ¦¸Ã˵ÊÇÀë×Ó¹â¿Ì»ú£¬Ò²¾ÍÊÇÄܹ»Éú²ú10nmÒÔÏÂÖÆ³ÌоƬµÄ¹â¿Ì»ú¡£
ÕâÖָ߾«¶ÈµÄ¹â¿Ì»ú£¬È«ÊÀ½ç¾ÍÖ»ÓÐasml¹«Ë¾È¥ÄêÉú²ú³öÁËÑù»ú£¬»¹ÎªÍ¶ÈëʹÓ㬲»¹ýÕÔÐþÉè¼ÆµÄÀë×Ó¹â¿Ì»úºÍasml¹«Ë¾µÄ¼«×ÏÍâ¹â¿Ì»ú²»Í¬£¬Á½ÕßʹÓõÄÔÀí²¢²»Ïàͬ£¬ÕÔÐþ²¢²»µ£ÐÄasmlËù¹¹½¨µÄרÀû±ÚÀÝ¡£
asmlËùÉú²úµÄ¼«×ÏÍâ¹â¿Æ¼¼Ê¹ÓõÄÊÇ13.5nm²¨³¤µÄ×ÏÍâ¹â£¬¶øÕÔÐþÉè¼ÆµÄÀë×Ó¹â¿Ì»úʹÓõÄÊÇÀë×ÓÊø£¬Ë«·½×ßÁËÁ½Ìõ²»Í¬µÄ¼¼ÊõµÀ·¡£
ƾ½èÄÉÃ×¼¶»ú´²µÄÉú²úÄÜÁ¦£¬ÕÔÐþÉú²ú³öÁËÄܹ»Éú²ú̼ÄÉÃ×¹ÜоƬµÄ¹â¿Ì»ú£¬´óСºÍÖÐÐÍÄÉÃ×¼¶Êý¿Ø»ú´²Ò»Ñù£¬ËãÊÇËüµÄÑÜÉú²úÆ·¡£
¶øÇÒʹÓõÄÁ㲿¼þ²¢²»Ïñasml¹«Ë¾¼«×ÏÍâ¹â¿Ì»úÒ»Ñù¶à¡£
ÒªÖªµÀÄÇ̨¼«×ÏÍâ¹â¿Ì»úÄÚ²¿Áã¼þÊýÁ¿¶à´ï10Íò¸ö¡¢4Íò¸öÂÝ˨¡¢3000¸ùµçÏß¡¢2¹«Àï¶ÌÈí¹ÜµÈµÈ£¬Õų̂»úÆ÷ÖØÁ¿¸ß´ï180¶Ö¡£
ÔÚÕÔÐþÑÛÖоÍÊÇ´óÁ¦³öÆæ¼£µÄ²úÎÎÞÏ޶ѵþÆðÀ´µÄÉ豸£¬ËäÈ»Äܽâ¾ö10nmÒÔϹèоƬµÄÉú²úÎÊÌ⣬µ«2nmÒÔÏÂĦ¶û¶¨ÂÉʧЧ֮ºó£¬¾ÍÒѾ²»¹»ÓÃÁË¡£
µ«Àë×Ó¹â¿Ì»úÖ»ÓÐ5000¶à¸öÁ㲿¼þ£¬ÖØÁ¿Ö»ÓÐ59¶Ö¶à£¬ºÍ³õ¼¶ÖÆÔį̀µÄÍâÐÎÒ»ÃþÒ»Ñù£¬ËãÊǽ«¡¶´÷ÉÇò¼Æ»®¡·Öеļ¼ÊõÓ¦ÓÃÍêÈ«ÁË¡£
ÕæÕýµÄ¿Æ¼¼Ó¦¸ÃÊǼ«¾¡¼òµ¥£¬Ê¹ÓõÄÁ㲿¼þÔ½ÉÙÔ½ºÃ¡£
¡°ÕÔ×Ü£¬ÏÖÔÚÔÐÍÑéÖ¤»úÒѾ×é×°Íê±ÏÁË£¬ÎÒÃÇÒª²âÊÔÒ»ÏÂÂ𣿡±
ÈÄÒ×ÈÄÓÐÁ³ÉÏ´ø×ż¤¶¯µÄ±íÇ飬¿´×ÅÕÔÐþ£¬µ±³õµÄÒ»ÃæÖ®Ôµ£¬ÈÃËûûÏëµ½¾¹È»Äܹ»½Ó´¥µ½ÕâÖÖÉ豸¡£
Ò»¿ªÊ¼»¹²»ÏàÐŵÄËû£¬ÔÚ¿´µ½×îÖÕ³ÉÐ͵ÄÉ豸֮ºó²»½û¸Ð¿®ÕÔÐþµÄÉè¼ÆÄÜÁ¦£¬Õâô¸´ÔÓµÄÉ豸£¬ÕÔÐþÒ»¸öÈËÄܹ»ÓÐÌõ²»ÎɵĽ«ËùÓÐÉè¼ÆË¼Â·ÀíÇ壬Ïëµ½¾Í·Ç³£ÄÑ¡£
µ±È»£¬ÊµÑéÊÒÄÚ²»Ö¹ËûÒ»¸öÈ˸е½²»¿É˼Ò飬κ¿¡Ò²ÊÇÒ»Ñù£¬´Ó»ú´²ÄDZߵ÷¹ýÀ´£¬Ã»Ïëµ½Ñо¿µÄ¾¹È»Êǹâ¿Ì»ú£¬»¹ÊǸ߾«¶È¹â¿Ì»ú£¬¼´ÔÚÇéÀíÖ®Í⣬ÓÖÔÚÒâÁÏÖ®ÖС£
ËäȻֻÊÇÔÐÍÑéÖ¤»ú£¬µ«Îº¿¡ÒÀ¾É²»¸Ò´óÒ⣬ֻÓÐÕæÕýÊÔÉú²ú¹ý£¬²ÅÄÜÖ¤Ã÷¼¼ÊõµÄ³ÉÊì¶È¡£
¡°¿ÉÒÔ£¬²»¹ý¾Í½»¸øÄãÃÇÁË£¬ÏÖÎÒµÃÈ¥ÐÝϢһϷſշſÕÄÔ´ü¡£¡±
µÚÒ»°ÙһʮÎåÕÂÀë×Ó¹â¿Ì»úÑéÖ¤»ú(1/2),µã»÷ÏÂÒ»Ò³¼ÌÐøÔĶÁ