“但愿如此......其实就算晚于西方研究成功，也没什么大不了。至少他们以后不能在这方面卡住我们的脖子。”
牛主任油然叹息道。
“确实是这个道理......杜副部长，光刻机的情况......”
陈国泰见牛主任好像已经说完，就点了点头，看向杜副部长。
“光刻机方面，各个重要组件都在持续改进和优化......不过其中最为核心的光源部分，我们的研究人员已经取得了极为重大的进展。”
杜庆安微笑了一下，满脸自豪地说道。
“光源部分有了重大进展？这么说来，是氟-氪气体激光器要研究成功了？”
陈国泰立即眉头一挑，惊喜莫名地说道。
西方世界的光刻机目前基本还在使用高压汞灯作为光源。要到九十年代才会转换为氩-氪气体激光。
而华国因为激光技术一直领先于世界，从一开始就是使用氦-氖气体激光器。
不过从激光分辨率上来讲，氟-氪组合其实要比氦-氖组合的效果好一大截。
“是的。徐国士非常有把握，能够在短时间里，将我们现有的光刻机光源用氟-氪气体激光器替换掉......徐国士说了，氦-氖组合的最大理论制程精度只有250纳米左右。氟-氪组合的最大理论制程精度却可以达到180纳米到130纳米......小陈你上次提供的情报的参考作用确实无比巨大。”
杜庆安很是感慨地说道。
“是吗？”