李望亭的手指悬在启动键上方,不禁又紧张地深吸了一口气。 这一刻,他终于要验证自己和所有工人技术员辛勤付出是否能够换来期待已久的成功。 在场的每一个人都屏住了呼吸,大气不敢出。 老张的手心已经渗出了汗水,他紧紧捏着拳头,目不转睛地盯着控制台。 其他技术员和工人也都是一脸凝重,全身的肌肉都绷紧了。 “开始!”李望亭大声说道。 他的手指果断按下了启动键。 只听机器发出“嗡——”的轰鸣声,震耳欲聋。 各项指示灯亮起,精密的传动系统开始高速运转,数控操作台上的数据飞速跳动。 这一刻,在场每一个人都倒吸了一口凉气。 他们屏住呼吸,生怕任何一个音节都可能打破这神圣的时刻。 “传动系统正常,光路系统正常!” 李望亭仔细观察着,他的眉头紧锁,一丝微笑开始在嘴角浮现。 “控制系统正常!一切顺利!”李望亭兴奋地说。 “太好了!”老张激动地握紧了拳头。 其他技工也都是暗自握紧了双手,庆幸一切正常。 “现在进行光刻试验!”李望亭将样品放入工作台,输入了指令。 只见一束细密的激光射向样品,在场的每一个人都屏住了呼吸,生怕一个不慎就会影响试验。 只听机器发出“嘀——”的提示音,表示准备就绪。 “开始!”李望亭朝老张使了一个眼色。 老张立即战战兢兢地按下了“启动”按钮。 顿时,强光源系统发出一道炫目的蓝光,穿过了一系列精密的径向调节镜和聚光透镜,射向样品台。 束窄的激光在样品上方精确扫描,丝毫不差地照射每个曝光点。 “第一曝光区正进行中!”李望亭紧紧盯着样品,仔细观察曝光效果。 样品上隐隐浮现出图案轮廓,每个曝光点的边缘清晰可见。 “第一区曝光完毕,准备第二区!”李望亭迅速调整参数。 光束迅速移动位置,开始曝光样品的第二区域。 这一次曝光时间更长,光束能量更为集中。 众人只见样品上逐渐成像出美轮美奂的花朵图案,每个笔画都清晰无比,栩栩如生。 “第二区曝光完毕!”李望亭核对数字,“一切正常!” “最后一区开始!”他输入指令,启动了最后的曝光程序。 强光束划过样品表面,将每个细节无微不至地烙印其上。 “曝光结束!” 机械传来“叮——”的一声,提示曝光程序全部结束。 “取出样品!”李望亭示意老张。 老张小心翼翼地取出样品,然后看到上面印刻的精美图案后,立刻激动得红了眼眶。 “成功了!”老张激动得说不出话来,颤抖着双手将样品举过头顶。www.ba1zw.com “成功了!” “太神奇了!” 所有技术员和工人都激动得涕泪横流! 李望亭激动地握紧了拳头,终于成功了! “同志们,我们成功了!”他拥抱着老张,和所有技工一同欢呼。 此时此刻,在场的每一个人都激动得说不出话来。 他们一个个红着眼眶,泪水充盈。 “太不容易了,我们终于成功了!”老张已经激动得止不住泪水。 “所长,您瞧,这个图案多精细啊!”一个年轻技工将样品递到李望亭面前,颤抖着说。 “太精致了!完全超出我的想象!”李望亭也已难掩激动之情,声音有些哽咽。 “老张,快去告诉领导成功的好消息!”他拍了拍老张的肩膀。 “是!我这就去!”老张激动地转身就跑,跌跌撞撞地冲出实验室,马不停蹄地奔向领导办公室。 一路上,老张激动得眼泪直流,心中激荡着巨大的喜悦。 他三步并作两步跑向办公区域,来到了一台老旧的电话机前。 老张深吸一口气,小心翼翼地拨通了科学院领导办公室的内线号码。 “喂,请问是首长吗?”老张紧张兮兮地说。 电话那头传来领导亲切的声音:“我是,有什么事吗老张?” “首长,光刻机试验成功了!样品精度超出想象!”老张激动地说,“请您快来实验室看看!” “什么?成功了?”领导难掩兴奋,“太好了!我马上来!” 说罢,领导急匆匆地挂断电话。 过了一会儿,只听外面引擎隆隆的声音逐渐近了,一辆吉普车驶到了轧钢厂研究所。 因为提前通知过，所以就没有受到什么阻拦。 科学院领导一路小跑步赶了过来,急切的想看看样品。 “让我瞧瞧!”他几步跨上楼梯,冲进实验室。 进门的一刹那,看到样品时,眼前一亮,激动得说不出话来。 “成功了!你们做到了!”他激动地抱住李望亭。 “是的领导!这一刻我们等待已久!”李望亭也激动不已。 “是啊!你们打开了国内光刻技术的新纪元!”领导津津有味地端详着样品,“想象一下,这项技术的应用前景有多广阔!” “您说得对,这将推动国内电子信息产业的全面发展!”李望亭也难掩激动之情。 “去,召开庆功会!”领导高兴地宣布,“今天所有的费用我包了!” 一时间,实验室里热闹非凡。 大家欢声笑语,将这个历史性的时刻镌刻在心里。 李望亭环视四周,难掩嘴角的笑容。是的,这一刻,他等待已久。www.ba1zw.com 成功制造光刻机只是第一步,李望亭清楚,真正挑战还在后头。 “同志们,先祝贺我们研制成功!”李望亭对全体员工说,“但这只是一个开始,现在我们要马上投入芯片生产,争取尽快获得高成品率和良好质量!” “是!我们一定全力以赴!”所有技工响亮地回答。 李望亭立即安排技术员进入24小时轮班制,昼夜不停地操作光刻机加工芯片。 起初成品率并不高,约有三成片子出现各种缺陷。 李望亭让工程师仔细分析原因,发现主要在曝光控制和化学药水配方上还需精益求精。 于是他们开始调整光源系统的精度,修改曝光时间曲线。 同时配制更稳定均匀的显影液。 经过连日来的试验调试,成品率开始明显提升,达到了六成以上。 现在芯片上电路图案已经可以清晰成像。 “虽然只有几微米大小,但这已经是国内之最!”李望亭不无自豪地说。 为了进一步提升成品率,他让技术人员修改光学系统,加强对激光束的聚焦控制,减少散射对成像的影响。 同时,他们还改进了光刻胶的配方,使其更加符合国产硅片材质。 经过一个月的夜以继日的努力,芯片成品率终于稳步上升到了八成以上,质量也越来越好。 “这已经可以进行小批量生产了。”李望亭欣慰地说。 虽然目前的工艺只能制造微米级芯片,但李望亭相信,经过持续改进,他们一定能够达到纳米级。 “前面还有漫长的道路,但只要我们不懈努力,就一定能够进军世界先进行列!”李望亭对全体员工充满信心地说。 大家无不振奋鼓舞、士气高涨。他们知道,未来的胜利就握在自己手中。
第318章 第一枚芯片试制成功(1/2),点击下一页继续阅读